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tude Par Microscopie Force Atomique

Name: tude Par Microscopie Force Atomique
Brand: Omniscriptum
SKU: 07117443
Price: 52.56 EUR
Availability: InStock
Author: Jerome Thiault
ISBN: 9786131531705

Jerome Thiault

Език

Френски език

Книга С меки корици

Код Либристо: 07117443

Издателство Omniscriptum, февруари 2018

Ce travail de thčse s'inscrit dans le contexte de miniaturisation des transistors MOS afin de mener... Цялото описание

Код Либристо: 07117443

127 b

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Ce travail de thčse s'inscrit dans le contexte de miniaturisation des transistors MOS afin de mener la technologie CMOS ŕ ces dimensions ultimes. Avec les techniques actuelles de fabrication et pour des longueurs de grille de transistor inférieures ŕ 30nm, les variations moyennes de la longueur de grille, appelées rugosité de bord, entraînent des fluctuations électriques dans le transistor inacceptables pour le bon fonctionnement des futures générations de dispositifs. Il convient donc de contrôler ce paramčtre afin de le réduire. Pour réussir ce défi technologique, il est essentiel de le mesurer avec précision afin, par la suite, de comprendre ses origines et son évolution aprčs chaque étape technologique de fabrication. Dans ce travail de thčse, nous nous sommes intéressés ŕ la mesure la rugosité de bord, ŕ l'aide d'un nouvel équipement de métrologie: le microscope ŕ force atomique en trois dimensions. Nous avons évalué les capacités de cet outil et déterminé un protocole de mesure de la rugosité de bord, qui nous a permis ensuite d'étudier ses origines et d'étudier son évolution lors des différentes étapes technologiques de fabrication d'une grille de transistors MOS.